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            品質是生命,服務是宗旨

            Quality is life, service is the tenet

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            (含預熱器)雙溫區滑軌式CVD系統

            更新時間:  2019-05-19

            產品型號:  

            產品報價:  

            所  在  地:  合肥市新站區穎河路22號

            產品特點:  (含預熱器)雙溫區滑軌式CVD系統 雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

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            產品概述

            設備描述

            CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含預熱器) 雙溫區滑軌式CVD系統由預熱爐、雙溫區滑軌爐、質子流量控制系統、真空系統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

            技術參數

             

             

             

             

             

             

             

             

             

            雙溫區滑軌爐LFT1200C-II 200D50

            爐體結構

            該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統,使其爐體表面溫度都小于55℃

            ·           爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

            爐管尺寸

            Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

            功率

            5kW

            輸入電壓

            220VAC 單相 50/60Hz

            加熱元件

            Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

            高溫度

            高溫度:1200℃ 

            額定溫度:1100℃

            升溫速率

             ≦10℃/min(推薦)

            加熱區長度度

            ·         兩個加熱區的長度都是200mm

            ·         分別由獨立的溫控系統控制

            恒溫區長

            ·         100+100mm(±1℃)

            ·         可獲得較長恒溫區間

            控溫精度

            ·          ±1℃

            快速連接法蘭

            ·         Φ50快結式不銹鋼真空法蘭

            ·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
            另配備有可調節高度的法蘭支架

             

             

            預熱爐

            功率

            ·         1kw

            加熱區

            ·         100mm

            高溫度

            ·         1200℃

            工作溫度

            ·         200-800℃(可根據實際工藝需求調整)

             

             

            五路質子流量控制系統

            MFC-5Z

            電壓

            220VAC  單相  50/60Hz

            針閥材質

            316不銹鋼

            量程

            50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

            工作溫度

            5~45℃

            外型尺寸

            600(L) x 600(W) x 700(H) mm

            電壓

            AC220V/50Hz單相

            功率

            23W

             

             

            真空系統

            LVU-10

            殼體尺寸

            ·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

            大承載量

            ·         1000 Lbs 

            抽氣速率

            ·         10m³/h

            ·         極限真空度:10-1Pa

            ·         雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

            質保期

            一年質保期,(相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

             

             

             

             

            使用注意事項

            ·         爐管內氣壓不可高于0.02MPa

            ·        

            ·         當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

            ·         石英管的長時間使用溫度<1100℃

            ·         對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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